IEC 62047-3:2006

IEC 62047-3:2006 半导体器件 - 微机电装置 - 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试件 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing 标准号：IEC 62047-3:2006 发布日期：2006-08-15 IEC62047-3:2006标准的适用范围主要涉及半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术。该标准具体规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于微机电系统在设计和制造过程中的可靠性测试与性能验证。标准内容涵盖了MEMS器件的机械特性、电气特性以及环境适应性等方面的测试规范，旨在确保这类器件在实际应用中的稳定性和可靠性。该标准适用于MEMS相关的研究、开发和生产领域，为行业提供了统一的技术评估依据。