IEC 62047-2:2006

IEC 62047-2:2006 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials 标准号：IEC 62047-2:2006 发布日期：2006-08-15 IEC62047-2:2006标准的适用范围主要涉及半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术。该标准规定了MEMS器件的术语、定义、测试方法和性能评估要求，适用于设计、制造和测试MEMS器件的相关领域。具体包括MEMS器件的机械、电气和环境特性测试，以及可靠性评估。该标准旨在为MEMS器件的开发和应用提供统一的技术规范，确保器件性能和质量的一致性。