IEC TS 60747-19-2:2021

IEC TS 60747-19-2:2021 半导体器件 - 第19-2部分：智能传感器 - 低功耗运行用智能传感器及其驱动电源的规范说明 Semiconductor devices - Part 19-2: Smart sensors - Indication of specifications of sensors and power supplies to drive smart sensors for low power operation 标准号：IEC TS 60747-19-2:2021 发布日期：2021-05-21 IECTS60747-19-2:2021的适用范围主要涉及半导体器件中的微机电系统（MEMS）的压力传感器。该技术规范规定了MEMS压力传感器的术语、定义、符号、基本额定值、特性以及测试方法。它适用于基于MEMS技术制造的用于测量气体或液体压力的传感器，包括绝对压力、差压和表压传感器。该标准为MEMS压力传感器的设计、制造、测试和应用提供了技术指导，旨在确保产品的可靠性和性能一致性。