IEC 62047-28:2017 半导体器件 - 微机电器件 - 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置性能测试方法 Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices 标准号：IEC 62047-28:2017 发布日期：2017-01-20 IEC62047-28:2017标准的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了用于MEMS器件的特定测试方法和性能评估要求，适用于微电子机械系统相关的设计、制造和测试过程。它特别关注MEMS器件在特定环境条件下的可靠性和功能特性，为MEMS技术的开发和应用提供统一的测试与评估规范。该标准适用于MEMS行业的研究机构、制造商和测试实验室，用于确保MEMS器件的质量和性能符合国际技术要求。
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