IEC 62047-41:2021 半导体器件 - 微机电器件 - 第41部分：射频MEMS环行器和隔离器
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 41: RF MEMS circulators and isolators
标准号：IEC 62047-41:2021
发布日期：2021-06-15
IEC62047-41:2021标准的适用范围主要涉及半导体器件的微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于设计和制造过程中对MEMS器件进行可靠性、功能性和环境适应性测试。它特别关注基于半导体工艺的微型传感器和执行器的测试标准，为相关行业提供统一的技术规范和测试指南。