IEC 62047-48:2024 半导体器件 - 微机电系统器件 - 第48部分：使用MEMS流体器件通过光吸收测定溶液浓度的试验方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 48: Test method for determining solution concentration by optical absorption using MEMS fluidic device
标准号：IEC 62047-48:2024
发布日期：2024-06-07
IEC62047-48:2024标准的适用范围主要涉及半导体器件的微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了MEMS器件在特定环境条件下的测试方法和性能要求，适用于设计和制造过程中对MEMS器件的可靠性评估。它涵盖了MEMS传感器、执行器及相关微纳器件的测试流程，确保这些器件在工业、医疗和消费电子等应用中的性能稳定性和耐久性。该标准适用于MEMS器件的研发、生产和质量控制环节。