IEC 62047-38:2021 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第38部分：MEMS互连中金属粉末浆料粘附强度的测试方法
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection
标准号：IEC 62047-38:2021
发布日期：2021-06-23
IEC62047-38:2021标准的适用范围主要涉及半导体器件的微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了MEMS器件在特定环境条件下的测试方法和性能要求，适用于微电子机械系统的设计、制造和测试过程。它主要针对基于半导体工艺的微型传感器、执行器及相关微结构，为这些器件的可靠性和性能评估提供了统一的测试规范。该标准适用于MEMS器件制造商、测试实验室及相关研究机构，用于确保MEMS产品在预定应用环境中的性能一致性。