半导体器件 - 微电子机械器件 - 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器与双工器 (IEC 62047-7:2011)

IEC 62047-7:2011 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第7部分：用于射频控制和选择的MEMS体声波滤波器与双工器

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 7: MEMS BAW filter and duplexer for radio frequency control and selection

标准号：IEC 62047-7:2011

发布日期：2011-06-16

IEC62047-7:2011的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域，具体规定了用于MEMS的微针的测试方法。该标准适用于评估微针的机械性能，特别是其弯曲强度和疲劳特性，以确保其在微纳尺度器件中的可靠性和适用性。