硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额

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本标准规定了硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额的技术要求、统计范围和计算方法、节能管理与措施。本标准适用于硅基晶圆制造企业单位产品能源消耗的计算、考核与评价，以及对新建或改扩建项目的能耗控制。