PECVD石墨舟工艺维护方法

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PECVD石墨舟工艺维护方法主要包括定期检查、清洁、修复和更换四个环节。首先，定期检查石墨舟的舟片、电极接触点、卡槽等部件，确认无磨损、变形或污染。其次，清洁时使用去离子水或无水乙醇擦拭表面，去除沉积膜层或杂质，必要时进行等离子体清洗。第三，发现舟片变形或镀膜不均匀时，可通过物理校正或打磨恢复平整度。最后，注意更换已破损或严重老化的部件，并保持石墨舟干燥储存，避免吸湿影响工艺效果。