新型氧化硅钝化特性研究-龚磊

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该论文由龚磊撰写，研究了新型氧化硅材料的钝化特性。主要内容包括通过特定工艺制备氧化硅薄膜，分析其在半导体器件表面钝化中的效果，探讨了薄膜结构与电学性能之间的关系，评估了钝化对减少表面复合、提升载流子寿命的作用。研究揭示了材料参数与钝化性能的关联，为优化氧化硅在光伏或微电子领域的应用提供了实验依据。