基于CFD与智能优化的直拉硅单晶生长工艺参数研究

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该研究结合计算流体动力学（CFD）与智能优化方法，系统探讨了直拉法硅单晶生长过程中的关键工艺参数。通过CFD模拟分析了熔体流动、温度场及热应力分布，建立了参数与晶体质量的关联模型。进一步引入遗传算法、粒子群算法等智能优化技术，对提拉速度、坩埚转速、加热功率等参数进行多目标寻优，以降低缺陷密度、提高生长效率。研究验证了CFD与智能优化协同应用的可行性，为直拉硅单晶工艺的精准调控提供了理论依据与工程参考。