大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动不稳定特性及其对结晶界面形状的影响-刘立军

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该研究由刘立军完成，聚焦于大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动的不稳定特性及其对结晶界面形状的影响。通过理论分析和模拟，揭示了熔体对流模式在热场和磁场作用下易产生振荡、翻转等非稳态行为，这些流动不稳定性导致结晶界面发生变形或波动，影响晶体质量。研究为优化工艺参数和改善单晶硅生长均匀性提供了理论依据。