标准号GB/T 31351-2014状态
发布于：2014-12-31
实施于：2015-09-01
碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法基本信息
标准号：GB/T 31351-2014
中国标准分类号：H26
国际标准分类号： 77.040.99 77 冶金 77.040 金属材料试验 77.040.99 金属材料的其他试验方法
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
国家标准《碳化硅单晶抛光片微管密度无损检测方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。