标准号T/DZJN 522-2026状态
发布日期：2026-03-19
实施日期：2026-03-19
半导体设备用石英材料零部件精密机械加工工艺技术规范基本信息
标准号：T/DZJN 522—2026
英文标题：Technical specification for precision machining of quartz components for semiconductor equipment
国际标准分类号：81玻璃和陶瓷工业
国民经济分类：C 制造业
起草人：-
起草单位：-
适用范围：-
内容概括：石英制品加工……
