氮对多晶硅铸锭性能的影响与一种化学增强抗溶解氮化硅涂层-周浪

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该研究探讨了氮元素在多晶硅铸锭过程中的作用，发现氮的引入会影响硅锭的晶体结构、杂质分布和电学性能，适当氮含量可改善晶粒尺寸和减少缺陷，但过量则可能恶化性能。同时，研究提出了一种化学增强抗溶解氮化硅涂层，该涂层能有效抵抗硅熔体的侵蚀，减少杂质污染，提升铸锭质量和效率。工作为多晶硅铸锭工艺优化和涂层材料开发提供了实验依据。