半导体器件 - 微机电装置 - 第1部分：术语和定义 (IEC 62047-1:2016)

IEC 62047-1:2016 半导体器件 - 微机电装置 - 第1部分：术语和定义

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

标准号：IEC 62047-1:2016

发布日期：2016-01-06

IEC62047-1:2016的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了用于MEMS的半导体材料的机械性能测试方法，特别是针对薄膜材料。它适用于评估微米或纳米尺度下材料的拉伸、弯曲、疲劳等力学特性，为MEMS器件设计与制造提供可靠的测试依据。