直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法

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一种用于直拉法单晶硅生长过程中实时监测结晶界面形状的方法，通过在生长界面附近布置多个温度传感器或利用光学成像技术，结合数据处理算法，持续获取界面形状的动态变化信息，从而实现对结晶过程的非接触或微接触式实时监控，以优化生长参数并提高晶体质量。