标准号GB/T 42709.3-2026状态
发布于：2026-04-30
实施于：2026-11-01
半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片基本信息
标准号：GB/T 42709.3-2026
标准类别：产品
中国标准分类号：L40
国际标准分类号： 31.200 31 电子学，31.200 集成电路、微电子学
归口单位：全国集成电路标准化技术委员会
执行单位：全国集成电路标准化技术委员会
主管部门：工业和信息化部（电子）
国家标准《半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片》由TC599（全国集成电路标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为工业和信息化部（电子）。
主要起草单位 河北美泰电子科技有限公司、中国电科产业基础研究院。
主要起草人 梁彦青 、罗蓉 、姚世婷 、周明琴 、刘聪聪 、杨拥军 、吝海锋 。
半导体器件 微电子机械器件 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试验片 (GB/T 42709.3-2026)
