IEC 62047-5:2011 半导体器件 - 微机电器件 - 第5部分：射频MEMS开关
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches
标准号：IEC 62047-5:2011
发布日期：2011-07-13
IEC62047-5:2011的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域，具体规定了用于微机电系统的薄膜材料的拉伸性能测试方法。该标准适用于评估薄膜材料在单轴拉伸载荷下的力学特性，如弹性模量、屈服强度、抗拉强度和断裂应变等。它主要针对厚度通常在几纳米至几微米范围内的薄膜材料，这些材料常用于MEMS器件制造。标准中描述的测试方法适用于实验室环境，旨在为材料性能比较和质量控制提供统一规范。该标准不适用于块体材料或非薄膜形式的材料测试，也不涉及其他力学测试方法（如压缩或弯曲测试）。其应用有助于确保MEMS器件中薄膜材料性能的可靠性和一致性。
半导体器件 - 微机电器件 - 第5部分：射频MEMS开关 (IEC 62047-5:2011)