半导体器件 - 微电子机械器件 - 第4部分：MEMS通用规范 (IEC 62047-4:2008)

IEC 62047-4:2008 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第4部分：MEMS通用规范

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS

标准号：IEC 62047-4:2008

发布日期：2008-08-21

IEC62047-4:2008的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准具体规定了用于微机电系统的薄膜材料的拉伸测试方法，特别是针对那些具有高纵横比（即结构高度远大于横向尺寸）的微结构。它适用于评估薄膜材料在微尺度下的机械性能，如弹性模量、屈服强度和断裂强度等，为MEMS器件设计与制造过程中的材料特性测试提供了标准化指导。