半导体器件 - 微机电设备 - 第6部分：薄膜材料的轴向疲劳测试方法 (IEC 62047-6:2009)

IEC 62047-6:2009 半导体器件 - 微机电设备 - 第6部分：薄膜材料的轴向疲劳测试方法

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

标准号：IEC 62047-6:2009

发布日期：2009-04-07

IEC62047-6:2009的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准规定了用于微机电系统的薄膜材料的拉伸测试方法，特别是针对那些具有典型尺寸在微米范围内的试样。它适用于评估薄膜材料的机械性能，如弹性模量、屈服强度和断裂强度等，以确保这些材料在MEMS器件中的可靠性和性能一致性。该标准适用于材料供应商、MEMS制造厂商以及相关研究和测试机构。